薄膜壓電MEMS
薄膜壓電MEMS
- 何謂壓電？
壓電（壓電元件）是通過(guò)施加力產(chǎn)生電壓或反過(guò)來(lái)通過(guò)施加電壓使之變形的一種元件。 - 壓電相關(guān)術(shù)語(yǔ)
對(duì)壓電相關(guān)的術(shù)語(yǔ)進(jìn)行簡(jiǎn)要說(shuō)明。 - 何謂MEMS？
MEMS是一種利用微細(xì)加工技術(shù)將機(jī)械部件、電子電路、傳感器和執(zhí)行器集成在一塊電路板上的高附加值器件。 - MEMS相關(guān)術(shù)語(yǔ)
對(duì)MEMS相關(guān)的術(shù)語(yǔ)進(jìn)行簡(jiǎn)要說(shuō)明。